僅有頭發(fā)絲50萬(wàn)分之一大小的物質(zhì)，怎樣才能窺其真容？2月初，科技日?qǐng)?bào)記者在廣州市黃埔區(qū)的生物島實(shí)驗(yàn)室找到了答案。
透過(guò)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，記者清晰看到了小鼠大腦中的髓鞘組和小鼠肝臟細(xì)胞里的線(xiàn)粒體。平常用肉眼難以觀(guān)察到的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，此時(shí)清晰可見(jiàn)。
“它是擁有原子級(jí)分辨率的顯微放大設(shè)備，可呈現(xiàn)大多數(shù)晶體的排列結(jié)構(gòu)。”中國(guó)科學(xué)院廣州生物醫(yī)藥與健康研究院副院長(zhǎng)（主持工作）、生物島實(shí)驗(yàn)室生物電子顯微鏡技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新中心原主任孫飛介紹。
2024年12月，由生物島實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)銜研制、我國(guó)首個(gè)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)商業(yè)場(chǎng)發(fā)射透射電鏡TH-F120完成了首批訂單合同簽訂，正式開(kāi)啟了國(guó)產(chǎn)透射電鏡的市場(chǎng)應(yīng)用。這將打破國(guó)內(nèi)透射電鏡長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口的局面，為我國(guó)在材料科學(xué)、生命科學(xué)等前沿科學(xué)及工業(yè)領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
從掃描電鏡起步
“我們能不能自主研發(fā)冷凍透射電鏡？”2014年，中國(guó)科學(xué)院院士饒子和的發(fā)問(wèn)，時(shí)常在孫飛耳邊回響。
饒子和長(zhǎng)期深耕于冷凍電鏡應(yīng)用研究，深知透射電鏡對(duì)科學(xué)研究的極端重要性。透射電子顯微鏡（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“透射電鏡”），堪稱(chēng)科學(xué)家探尋微觀(guān)世界的“慧眼”。借助它，科學(xué)家能緝查病毒“元兇”、觀(guān)察細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)。
然而，由于技術(shù)門(mén)檻極高，長(zhǎng)期以來(lái)，透射電鏡的研發(fā)和生產(chǎn)技術(shù)僅掌握在少數(shù)幾個(gè)國(guó)家手中。
“造出自己的透射電鏡，一直是業(yè)界的共同愿景。”孫飛對(duì)記者說(shuō)。
2016年，時(shí)任中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所所長(zhǎng)徐濤研究員和中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所生物成像中心主任孫飛研究員開(kāi)啟了謀劃自主研制透射電鏡的事業(yè)。
2019年開(kāi)始，徐濤和孫飛逐步在生物島實(shí)驗(yàn)室組建起一支透射電鏡研制工程技術(shù)團(tuán)隊(duì)。他們的專(zhuān)業(yè)涵蓋電子光學(xué)、精密機(jī)械、電子電路、自動(dòng)化控制等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域。團(tuán)隊(duì)中既有國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界的頂尖人才，也有在電子束產(chǎn)業(yè)中深耕多年的領(lǐng)軍人物。
為何選擇生物島實(shí)驗(yàn)室作為研發(fā)基地？
生物島實(shí)驗(yàn)室是廣東省首批省實(shí)驗(yàn)室之一，作為新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，其善于打破科研和產(chǎn)業(yè)間的“籬笆墻”。孫飛表示：“透射電鏡研發(fā)是一個(gè)周期漫長(zhǎng)、投入巨大、風(fēng)險(xiǎn)極高的系統(tǒng)工程。這里靈活的體制機(jī)制，保證了研發(fā)隊(duì)伍的穩(wěn)定。”
團(tuán)隊(duì)和研發(fā)基地都齊了，接下來(lái)的關(guān)鍵問(wèn)題，便是選擇何種技術(shù)路徑。“透射電鏡主要有熱發(fā)射、場(chǎng)發(fā)射、光發(fā)射三種模式。商業(yè)產(chǎn)品以熱發(fā)射、場(chǎng)發(fā)射為主。場(chǎng)發(fā)射透射電鏡以其高分辨率成像能力成為高端主流產(chǎn)品。”孫飛介紹，他們的目標(biāo)不僅是突破核心技術(shù)，更要瞄準(zhǔn)科學(xué)應(yīng)用，走向市場(chǎng)。因此，他們把研發(fā)目標(biāo)鎖定在高端機(jī)型——120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡。
然而，團(tuán)隊(duì)承擔(dān)的首個(gè)研發(fā)項(xiàng)目卻是30千伏掃描電鏡，而非透射電鏡。對(duì)此，孫飛解釋說(shuō)：“我們就是想通過(guò)這個(gè)項(xiàng)目培育人才、建設(shè)隊(duì)伍。這樣既能熟悉電鏡的研發(fā)路徑，又能鍛煉團(tuán)隊(duì)。”
正因?yàn)閷O飛選擇不走尋常路，才為后續(xù)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的研制打下了扎實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。
另辟蹊徑攻關(guān)
“有了30千伏掃描電鏡的成功經(jīng)驗(yàn)，是否意味著研發(fā)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡會(huì)更容易？”記者問(wèn)道。
“并非如此！”孫飛說(shuō)，“電壓從30千伏提升到120千伏，這絕非簡(jiǎn)單的數(shù)值提升，而是數(shù)量級(jí)的跨越。比如解決電子槍高壓真空打火問(wèn)題，就是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。”
電子槍是透射電鏡的“光源”，其作用是發(fā)射高能電子束照射樣品，是透射電鏡最為核心的部件之一。
10千伏、20千伏、30千伏……生物島實(shí)驗(yàn)室電子光學(xué)工程師吳秀菊清晰地記得，研發(fā)過(guò)程中，每每看著電子槍電壓噌噌上升，大家心跳也隨之加快。“因?yàn)殡妷阂簧剿奈迨Х?，電子槍就發(fā)生打火，導(dǎo)致高壓電源根本無(wú)法升上去。”
吳秀菊回憶道，實(shí)驗(yàn)一度陷入困境，究竟是電子槍內(nèi)部零配件存在污染物，還是高壓接頭不符合標(biāo)準(zhǔn)？面對(duì)接二連三的失敗，團(tuán)隊(duì)成員沒(méi)有氣餒，而是另辟蹊徑，反復(fù)實(shí)驗(yàn)。
“高壓接頭非常有講究，一旦接觸不良，中間留存的氣體就會(huì)引發(fā)擊穿打火，嚴(yán)重時(shí)甚至燒毀元器件。”孫飛解釋道。經(jīng)過(guò)一年多的不懈探索，團(tuán)隊(duì)終于找到合適的絕緣氣體，解決了這個(gè)困擾。他們不斷突破國(guó)外相關(guān)技術(shù)壁壘，在2023年成功實(shí)現(xiàn)120千伏場(chǎng)發(fā)射電子槍的穩(wěn)定量產(chǎn)。
提起另一關(guān)鍵核心技術(shù)——電子探測(cè)相機(jī)的研發(fā)，生物島實(shí)驗(yàn)室電子光學(xué)工程師金亮感慨道，為尋找成像效果最優(yōu)的熒光層，他們對(duì)不同條件下的不同材料，先后做了40多種測(cè)試。目前，該團(tuán)隊(duì)已成功研制出像素各異的電子探測(cè)相機(jī)，這些相機(jī)目前在國(guó)內(nèi)尚屬首家。
盡管核心部件已成功研發(fā)，但挑戰(zhàn)并未結(jié)束。“我們又花了近一年時(shí)間，才完成了整機(jī)組合。”孫飛說(shuō)，“當(dāng)看到分辨率優(yōu)于0.2納米圖像，我們的激動(dòng)無(wú)以言表。”
邊研發(fā)邊轉(zhuǎn)化
2022年11月，生物島實(shí)驗(yàn)室攜手國(guó)儀量子（合肥）技術(shù)有限公司，聯(lián)合成立廣州慧炬科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“慧炬科技”）。2024年1月，慧炬科技正式推出我國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)場(chǎng)透射電鏡TH-F120，取名“太行”，這標(biāo)志著我國(guó)已掌握透射電鏡用的電子槍、高壓電源等核心技術(shù)，并具備整機(jī)量產(chǎn)的能力。
“太行”配備了自主研制的高亮度場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)啾扔谕?jí)進(jìn)口產(chǎn)品的熱發(fā)射電子槍?zhuān)淞炼雀?，發(fā)射穩(wěn)定性和相干性也更為出色。配合自主研制的電磁透鏡系統(tǒng)，以及針對(duì)120千伏成像平臺(tái)特別優(yōu)化電子光學(xué)設(shè)計(jì)，使得“太行”能實(shí)現(xiàn)更高的圖像襯度和分辨率。
“‘太行’是多項(xiàng)技術(shù)的復(fù)合體。我們必須在每個(gè)環(huán)節(jié)都做到極致，才能保證設(shè)備整體達(dá)到高分辨率。”慧炬科技總經(jīng)理曹峰透露，團(tuán)隊(duì)正向200千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的新目標(biāo)進(jìn)發(fā)。
“我們?cè)谘邪l(fā)過(guò)程中始終堅(jiān)持邊研發(fā)邊轉(zhuǎn)化，從科學(xué)應(yīng)用的實(shí)際需求出發(fā)，確保項(xiàng)目有清晰的應(yīng)用出口。”孫飛說(shuō)。
回想120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的研發(fā)歷程和產(chǎn)業(yè)化，孫飛和曹峰感慨萬(wàn)千。
“當(dāng)時(shí)市場(chǎng)上已有200千伏、300千伏的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，我們是否應(yīng)該追隨市場(chǎng)？”孫飛表示，在選擇技術(shù)路徑時(shí)，大家也曾迷茫過(guò)。最終，他提出從用戶(hù)需求出發(fā)，確定研發(fā)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，這才使得技術(shù)成果得以順利轉(zhuǎn)化并落地。
“我們研發(fā)的產(chǎn)品是為了真正解決實(shí)際的科學(xué)問(wèn)題，而不是簡(jiǎn)單對(duì)比市場(chǎng)。”曹峰比喻道，“開(kāi)車(chē)的人，未必會(huì)造車(chē)。但造車(chē)的人，只有懂得消費(fèi)者的需求，才能夠打造出更好的產(chǎn)品。”
習(xí)近平總書(shū)記在主持二十屆中共中央政治局第三次集體學(xué)習(xí)時(shí)強(qiáng)調(diào)，要打好科技儀器設(shè)備、操作系統(tǒng)和基礎(chǔ)軟件國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)，鼓勵(lì)科研機(jī)構(gòu)、高校同企業(yè)開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān)，提升國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，爭(zhēng)取早日實(shí)現(xiàn)用我國(guó)自主的研究平臺(tái)、儀器設(shè)備來(lái)解決重大基礎(chǔ)研究問(wèn)題。
“我們將通過(guò)市場(chǎng)迭代，把透射電鏡技術(shù)錘煉得更加出色，做中國(guó)人自己的透射電鏡！”孫飛說(shuō)。
僅有頭發(fā)絲50萬(wàn)分之一大小的物質(zhì)，怎樣才能窺其真容？2月初，科技日?qǐng)?bào)記者在廣州市黃埔區(qū)的生物島實(shí)驗(yàn)室找到了答案。
透過(guò)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，記者清晰看到了小鼠大腦中的髓鞘組和小鼠肝臟細(xì)胞里的線(xiàn)粒體。平常用肉眼難以觀(guān)察到的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，此時(shí)清晰可見(jiàn)。
“它是擁有原子級(jí)分辨率的顯微放大設(shè)備，可呈現(xiàn)大多數(shù)晶體的排列結(jié)構(gòu)。”中國(guó)科學(xué)院廣州生物醫(yī)藥與健康研究院副院長(zhǎng)（主持工作）、生物島實(shí)驗(yàn)室生物電子顯微鏡技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新中心原主任孫飛介紹。
2024年12月，由生物島實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)銜研制、我國(guó)首個(gè)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)商業(yè)場(chǎng)發(fā)射透射電鏡TH-F120完成了首批訂單合同簽訂，正式開(kāi)啟了國(guó)產(chǎn)透射電鏡的市場(chǎng)應(yīng)用。這將打破國(guó)內(nèi)透射電鏡長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口的局面，為我國(guó)在材料科學(xué)、生命科學(xué)等前沿科學(xué)及工業(yè)領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
從掃描電鏡起步
“我們能不能自主研發(fā)冷凍透射電鏡？”2014年，中國(guó)科學(xué)院院士饒子和的發(fā)問(wèn)，時(shí)常在孫飛耳邊回響。
饒子和長(zhǎng)期深耕于冷凍電鏡應(yīng)用研究，深知透射電鏡對(duì)科學(xué)研究的極端重要性。透射電子顯微鏡（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“透射電鏡”），堪稱(chēng)科學(xué)家探尋微觀(guān)世界的“慧眼”。借助它，科學(xué)家能緝查病毒“元兇”、觀(guān)察細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)。
然而，由于技術(shù)門(mén)檻極高，長(zhǎng)期以來(lái)，透射電鏡的研發(fā)和生產(chǎn)技術(shù)僅掌握在少數(shù)幾個(gè)國(guó)家手中。
“造出自己的透射電鏡，一直是業(yè)界的共同愿景。”孫飛對(duì)記者說(shuō)。
2016年，時(shí)任中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所所長(zhǎng)徐濤研究員和中國(guó)科學(xué)院生物物理研究所生物成像中心主任孫飛研究員開(kāi)啟了謀劃自主研制透射電鏡的事業(yè)。
2019年開(kāi)始，徐濤和孫飛逐步在生物島實(shí)驗(yàn)室組建起一支透射電鏡研制工程技術(shù)團(tuán)隊(duì)。他們的專(zhuān)業(yè)涵蓋電子光學(xué)、精密機(jī)械、電子電路、自動(dòng)化控制等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域。團(tuán)隊(duì)中既有國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界的頂尖人才，也有在電子束產(chǎn)業(yè)中深耕多年的領(lǐng)軍人物。
為何選擇生物島實(shí)驗(yàn)室作為研發(fā)基地？
生物島實(shí)驗(yàn)室是廣東省首批省實(shí)驗(yàn)室之一，作為新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，其善于打破科研和產(chǎn)業(yè)間的“籬笆墻”。孫飛表示：“透射電鏡研發(fā)是一個(gè)周期漫長(zhǎng)、投入巨大、風(fēng)險(xiǎn)極高的系統(tǒng)工程。這里靈活的體制機(jī)制，保證了研發(fā)隊(duì)伍的穩(wěn)定。”
團(tuán)隊(duì)和研發(fā)基地都齊了，接下來(lái)的關(guān)鍵問(wèn)題，便是選擇何種技術(shù)路徑。“透射電鏡主要有熱發(fā)射、場(chǎng)發(fā)射、光發(fā)射三種模式。商業(yè)產(chǎn)品以熱發(fā)射、場(chǎng)發(fā)射為主。場(chǎng)發(fā)射透射電鏡以其高分辨率成像能力成為高端主流產(chǎn)品。”孫飛介紹，他們的目標(biāo)不僅是突破核心技術(shù)，更要瞄準(zhǔn)科學(xué)應(yīng)用，走向市場(chǎng)。因此，他們把研發(fā)目標(biāo)鎖定在高端機(jī)型——120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡。
然而，團(tuán)隊(duì)承擔(dān)的首個(gè)研發(fā)項(xiàng)目卻是30千伏掃描電鏡，而非透射電鏡。對(duì)此，孫飛解釋說(shuō)：“我們就是想通過(guò)這個(gè)項(xiàng)目培育人才、建設(shè)隊(duì)伍。這樣既能熟悉電鏡的研發(fā)路徑，又能鍛煉團(tuán)隊(duì)。”
正因?yàn)閷O飛選擇不走尋常路，才為后續(xù)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的研制打下了扎實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。
另辟蹊徑攻關(guān)
“有了30千伏掃描電鏡的成功經(jīng)驗(yàn)，是否意味著研發(fā)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡會(huì)更容易？”記者問(wèn)道。
“并非如此！”孫飛說(shuō)，“電壓從30千伏提升到120千伏，這絕非簡(jiǎn)單的數(shù)值提升，而是數(shù)量級(jí)的跨越。比如解決電子槍高壓真空打火問(wèn)題，就是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。”
電子槍是透射電鏡的“光源”，其作用是發(fā)射高能電子束照射樣品，是透射電鏡最為核心的部件之一。
10千伏、20千伏、30千伏……生物島實(shí)驗(yàn)室電子光學(xué)工程師吳秀菊清晰地記得，研發(fā)過(guò)程中，每每看著電子槍電壓噌噌上升，大家心跳也隨之加快。“因?yàn)殡妷阂簧剿奈迨Х?，電子槍就發(fā)生打火，導(dǎo)致高壓電源根本無(wú)法升上去。”
吳秀菊回憶道，實(shí)驗(yàn)一度陷入困境，究竟是電子槍內(nèi)部零配件存在污染物，還是高壓接頭不符合標(biāo)準(zhǔn)？面對(duì)接二連三的失敗，團(tuán)隊(duì)成員沒(méi)有氣餒，而是另辟蹊徑，反復(fù)實(shí)驗(yàn)。
“高壓接頭非常有講究，一旦接觸不良，中間留存的氣體就會(huì)引發(fā)擊穿打火，嚴(yán)重時(shí)甚至燒毀元器件。”孫飛解釋道。經(jīng)過(guò)一年多的不懈探索，團(tuán)隊(duì)終于找到合適的絕緣氣體，解決了這個(gè)困擾。他們不斷突破國(guó)外相關(guān)技術(shù)壁壘，在2023年成功實(shí)現(xiàn)120千伏場(chǎng)發(fā)射電子槍的穩(wěn)定量產(chǎn)。
提起另一關(guān)鍵核心技術(shù)——電子探測(cè)相機(jī)的研發(fā)，生物島實(shí)驗(yàn)室電子光學(xué)工程師金亮感慨道，為尋找成像效果最優(yōu)的熒光層，他們對(duì)不同條件下的不同材料，先后做了40多種測(cè)試。目前，該團(tuán)隊(duì)已成功研制出像素各異的電子探測(cè)相機(jī)，這些相機(jī)目前在國(guó)內(nèi)尚屬首家。
盡管核心部件已成功研發(fā)，但挑戰(zhàn)并未結(jié)束。“我們又花了近一年時(shí)間，才完成了整機(jī)組合。”孫飛說(shuō)，“當(dāng)看到分辨率優(yōu)于0.2納米圖像，我們的激動(dòng)無(wú)以言表。”
邊研發(fā)邊轉(zhuǎn)化
2022年11月，生物島實(shí)驗(yàn)室攜手國(guó)儀量子（合肥）技術(shù)有限公司，聯(lián)合成立廣州慧炬科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“慧炬科技”）。2024年1月，慧炬科技正式推出我國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)場(chǎng)透射電鏡TH-F120，取名“太行”，這標(biāo)志著我國(guó)已掌握透射電鏡用的電子槍、高壓電源等核心技術(shù)，并具備整機(jī)量產(chǎn)的能力。
“太行”配備了自主研制的高亮度場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)啾扔谕?jí)進(jìn)口產(chǎn)品的熱發(fā)射電子槍?zhuān)淞炼雀?，發(fā)射穩(wěn)定性和相干性也更為出色。配合自主研制的電磁透鏡系統(tǒng)，以及針對(duì)120千伏成像平臺(tái)特別優(yōu)化電子光學(xué)設(shè)計(jì)，使得“太行”能實(shí)現(xiàn)更高的圖像襯度和分辨率。
“‘太行’是多項(xiàng)技術(shù)的復(fù)合體。我們必須在每個(gè)環(huán)節(jié)都做到極致，才能保證設(shè)備整體達(dá)到高分辨率。”慧炬科技總經(jīng)理曹峰透露，團(tuán)隊(duì)正向200千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的新目標(biāo)進(jìn)發(fā)。
“我們?cè)谘邪l(fā)過(guò)程中始終堅(jiān)持邊研發(fā)邊轉(zhuǎn)化，從科學(xué)應(yīng)用的實(shí)際需求出發(fā)，確保項(xiàng)目有清晰的應(yīng)用出口。”孫飛說(shuō)。
回想120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡的研發(fā)歷程和產(chǎn)業(yè)化，孫飛和曹峰感慨萬(wàn)千。
“當(dāng)時(shí)市場(chǎng)上已有200千伏、300千伏的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，我們是否應(yīng)該追隨市場(chǎng)？”孫飛表示，在選擇技術(shù)路徑時(shí)，大家也曾迷茫過(guò)。最終，他提出從用戶(hù)需求出發(fā)，確定研發(fā)120千伏場(chǎng)發(fā)射透射電鏡，這才使得技術(shù)成果得以順利轉(zhuǎn)化并落地。
“我們研發(fā)的產(chǎn)品是為了真正解決實(shí)際的科學(xué)問(wèn)題，而不是簡(jiǎn)單對(duì)比市場(chǎng)。”曹峰比喻道，“開(kāi)車(chē)的人，未必會(huì)造車(chē)。但造車(chē)的人，只有懂得消費(fèi)者的需求，才能夠打造出更好的產(chǎn)品。”
習(xí)近平總書(shū)記在主持二十屆中共中央政治局第三次集體學(xué)習(xí)時(shí)強(qiáng)調(diào)，要打好科技儀器設(shè)備、操作系統(tǒng)和基礎(chǔ)軟件國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)，鼓勵(lì)科研機(jī)構(gòu)、高校同企業(yè)開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān)，提升國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，爭(zhēng)取早日實(shí)現(xiàn)用我國(guó)自主的研究平臺(tái)、儀器設(shè)備來(lái)解決重大基礎(chǔ)研究問(wèn)題。
“我們將通過(guò)市場(chǎng)迭代，把透射電鏡技術(shù)錘煉得更加出色，做中國(guó)人自己的透射電鏡！”孫飛說(shuō)。
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